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部品表面 不純物防ぐ新技術 半導体製造装置向け アスザックと信大開発へ

2019.7.17 9:00 信濃毎日新聞

 セラミックス部品など製造のアスザック(上高井郡高山村)は、半導体製造装置に使うセラミックス部品にナノメートルレベル(ナノは10億分の1)の超微細な不純物が付着するのを防ぐ表面処理技術を開発する。半導 ...

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